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第512章 研究经费(第1页)

第512章研究经费

对于光刻胶的发展,目前可以分为四个阶段,KTFR光刻胶、g线i线光刻胶、KrF光刻胶以及ArF光刻胶。

ArF光刻胶是世界最新的光刻胶技术,它继承了KrF光刻胶的基础,也属于化学放大光刻胶。

半导体工艺开发联IMEC正式将ArF光刻胶用作两千年下一代半导体0。13μm工艺的抗蚀剂。

只是相对于世界前沿的光刻胶技术,华夏的光刻胶发展简直称得上可怜。

华夏光刻胶的研究始于六七十年代,六七年的时候,华夏KPR型负性光刻胶就已经投产。

七零年,103B型、106型两种负胶投产,环化橡胶系负胶BN-302、BN-303也相继开发成功。

当时华夏的技术虽然比不上美国,但与日本研究时间相同,技术水平也相差无几。

只是之后因为种种原因,差距越来越大。

现在产品已经发展到ArF光刻胶阶段,而国内还在KTFR光刻胶阶段,后续研究一直停滞,相差三代。

这不仅仅是因为资金不够的原因,更大程度是因为电子行业与军事紧密相关,国外技术封锁,很难交流。

现在电子工业发展迅速,而华夏芯片的劣势也越来越明显,就靠着一些企业自己研究发展,进展缓慢,所以,政府想要重启光刻胶的研究。

江小溪听到这里,作为重生的人自然知道光刻机,一直到2020年,华夏的高端芯片依旧受制于人,而半导体工业中,下游设计已经迎头赶上,处于世界第一梯队,而上游设备和材料领域却依旧落后。

以光刻胶为例,国外g线i线光刻胶七十年代投产,KrF光刻胶八十年代投产,现在ArF光刻胶两千年投产。

可是华夏呢,2020年的时候,光刻胶企业仅有北京科华微电子的KrF光刻胶可以量产供应,与国外有着将近四十年的差距。

好在现在研发虽然不是最优的时候,但是也不晚,两千年只是一个开始,现在着手还来得及。

方主任把大概情况介绍完了,看到江小溪一直在沉思,他没有立刻询问江小溪,而是喝起茶来,让江小溪好好想一想。

路院长看着两个人不说话了,他和费院士其实是有些着急的,因为光刻胶这个项目已经封尘很多年了,就算有研究也因为经费问题很难继续,而现在时间紧迫,要是再不重启,那真的就晚了。

路院长等了一阵子,看着江小溪还在发呆,又转头看看方主任依旧在喝茶,喝喝喝,都喝了好几杯了。

于是,咳嗽了一声对江小溪说道:“江总,光刻胶的项目真的刻不容缓,虽然确实费用高,攻克难,但是你放心,我们所肯定全力研究,一定在十年之内给你拿出成果!”

江小溪听到他说话,抬起头来看着路院长。

路院长看江小溪没说话,顿了一下,改口说道:“八年、八年也长那就五年、五年我们肯定能研究到g线i线光刻胶,到时候就能变现了。江总,你可能不太了解,光刻胶虽然投入大,但我保证,这项技术的收益也大。”

这个时候方主任也说道:“确实,投资和收益都是成正比的,只要有成果,江总放心,收益肯定不小。”

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